CY-MSC300M-DCRF

2024

1

Китай

Нанесение тонких плёнок

CY-MSC300M-DCRF - магнетронное распылительное устройство для нанесения покрытий с двумя пушками-мишенями. Мишень пистолет, подключенный к источнику питания постоянного тока, может использоваться для магнетронного напыления проводящих металлов, таких как золото, серебро, медь и алюминий; пистолет-мишень, подключенный к радиочастотному источнику питания, может использоваться для магнетронного распыления неметаллических или непроводящих оксидов металлов. Во время нанесения покрытия напылением монитор толщины пленки контролирует толщину пленки в режиме реального времени. Для обеспечения равномерности покрытия в полости установлен вращающийся нагревательный образец. Весь комплект оборудования включает все принадлежности для нанесения магнитоуправляемых покрытий, которые можно сразу же использовать. Оснащенный сенсорный экран делает управление более простым и удобным. Размер Диаметр: 140 мм Точность контроля температуры ±1℃ диапазон нагрева RT～500℃ регулируемая скорость 1-20 об/мин Покрытие Равномерность ±3% Магнитронная распылительная головка (с возможностью регулировки угла) Целевая плоскость круглая плоскость мишени Вакуум напыления 0.2-1Pa Диаметр мишени 2 дюйма Толщина мишени 0.1~3mm напряжение изоляции >2000V Количество 2 дюйма * 2 Температура цели ≦65℃ Вакуумная камера Внутренняя стена лечение Электролитическая полировка Размер Диаметр 300 мм, высота 500 мм Массовый расходомер Сумма 1 путь Газ аргон, 200SCCM, может быть заменен на азот Регулирующий клапан тип Электромагнитный клапан управления Статическое состояние регулирующий клапан нормально закрыт Линейность измерения ±1,5%F.S повторяемость ±0,2%F.S Время отклика ≤8 секунд（T95） Диапазон рабочего давления 0.3MPa Корпус клапана Давление 3МПа Температура окружающей среды 5-45 градусов Цельсия Материал клапана SS 316L трубное соединение 1/4 дюйма фитинг с ферулой питание постоянного тока питание Мощность 1000 Вт Выходное напряжение 0~1000V Время 65000 секунд Время запуска 1~10с Количество 1 шт мощность RF питание Мощность 500 Вт Выходная мощность диапазон 0-500 Вт Максимальный отраженная мощность 100 Вт Частота 13.56MHz±0.005% стабильность мощности ≤5Вт Гармоническая составляющая ＜-50dbc Количество 1 шт. Монитор толщины пленки Толщина пленки Разрешение 0.0136Å（Al） Толщина пленки Точность ±0,5%, в зависимости от температуры датчика и условий процесса, положения, напряжения материала, плотности скорость измерения 100 мс-1с/время диапазон измерения 500000Å (алюминий) Стандартный датчик Кристалл 6 МГц Применяемая пластина размер 14 мм монтажный фланец CF35 Молекулярный вакуумный насос Скорость 600 л/с Метод охлаждения Водяное охлаждение и ветровое охлаждение Охлаждение воды температура ≦37℃ Охлаждающая вода скорость потока 10 л/мин Направление установки Вертикальное ±5° Вытяжное отверстие CF150 выпускной порт KF40 Предельный вакуум 5E-4Pa Механический вакуумный насос Скорость вакуума 1,1 л/с Мощность 100 Вт Шум ≦56 дБ Вытяжной порт KF25 выпускное отверстие KF25 Предельный вакуум 1 Па Вакуумметр Манометр сопротивления и ионизационный манометр, отображаются на экране промышленного управления Предельный вакуум всей машины 5×10-4Па Программное обеспечение системы PID управления, 7 дюймов LCD сенсорный экран Водяной охладитель Один водяной охладитель используется для целевой головки, молекулярного вакуумного насоса, монитора пленки воздушный компрессор 1 комплект, помогает в работе нескольких клапанов

Материаловедение, альтернативная энергетика,биомедицина

None