Научные исследования в области радиационной физики твердого тела, радиационного, магнетронный синтез материлов

2007

Қазақстан Республикасы Ғылым және жоғары білім министрлігі

PVD-методы (Physical Vapor Deposition — Физическое осаждение из паровой фазы):Магнетронное распыление: Нанесение пленок путем бомбардировки мишени ионами (обычно аргона) в плазме, что выбивает атомы материала мишени, которые осаждаются на подложке.Вакуумно-дуговое осаждение (Arc-PVD): Испарение материала мишени с помощью электрической дуги, часто используется для получения очень твердых покрытий.Импульсное реактивное распыление: Методы, использующие химически активные газы (например, азот) для синтеза покрытий, таких как нитриды металлов ($\text{TiN}, \text{TiAlN}$) непосредственно на подложке.