-

2024

1

Осаждение тонких пленок методом магнетронного ионно-плазменного напыления.

Размер Диаметр: 140 мм Точность контроля температуры ±1°С диапазон нагрева RT ~ 500 °C регулируемая скорость 1-20 об/мин Покрытие Равномерность ±3% Магнитронная распылительная головка (с возможностью регулировки угла) Целевая плоскость круглая плоскость мишени Вакуум напыления 0.2-1 Ра Диаметр мишени 2 дюйма Толщина мишени 0.1~3mm напряжение изоляции >2000V Температура цели 65 °С Вакуумная камера Внутренняя стеналечение Электролитическая полировка Размер Диаметр 300 мм, высота 500 мм Массовый расходомер Г аз аргон, 200SCCM , может быть заменен на азот Регулирующий клапан тип Электромагнитный клапан управления Статическое состояние регулирующий клапан нормально закрыт Линейность измерения ±1,5% F.S повторяемость ±0,2% F.S Время отклика <8 секунд (Т95) Диапазон рабочего давления 0.3 МРа Корпус клапана Давление ЗМ Па Температура окружаю щ ей среды 5- 45 градусов Цельсия Материал клапана SS 316L трубное соединение 1/4 дюйма фитинг с ферулой питание постоянного тока питание Мощность 1000 Вт Выходное напряжение 0-1000 Время 65000 секунд Время запуска 1~10с Количество 1 ш т мощность RF питание Мощность 500 Вт Выходная мощность диапазон 0-500 Вт Максимальный отраженная мощность 100 Вт Частота 13.56M Hz±0.005% стабильность мощности <5Вт Гармоническая составляющ ая < - 50dbc Количество 1 шт. Монитор толщ ины пленки Толщина пленки Разрешение 0.0136А (А1) Точность ±0,5%

Производство покрытий для оптических, электронных и износостойких материалов, научные исследования в области нанотехнологий.

Имеется