Инфраструктура E-labs

Магнетронная установка

  • Марка/модель

    МАГНА ТМ-29

  • Год выпуска

    2018

  • Количество

    1

  • Страна-производитель

    Россия

  • Виды работ

    Установка предназначена для магнетронного нанесения тонких металлических плёнок, в том числе плёнок драгоценных металлов на кремниевые пластины диаметром 100 и 150 мм с предварительным нагревом пластины и очисткой поверхности пластины в едином вакуумном цикле

  • Основные технические характеристики

    Возможно нанесение тонких плёнок из: - алюминия (Al); - алюминия, легированного кремнием (Al-Si); - алюминий-никеля (Ni-Al); - хрома (Cr) ЭРХ 99,95 МП; - тантала (Ta); - титана (Ti) ВТ1-0; - нитрида титана (TiN); - молибдена (Mo) M99,95 MП; - вольфрама (W) В 99,95 МП; - стали НЖ20; - никеля (Ni); - сплава никель-железо (FeNi); - ниобия (Nb); - нитрида ниобия (NbN); - неодимового магнита (NdFeB); - магнитного сплава 79НМ; - платины (Pt)

  • Область применения

    Материаловедение

  • Инструкция по эксплуатации

    имеется

  • Телефон

    +7 701 722 1090

  • Email

    a.goncharov@kbtu.kz

Подать заявку
Для запроса на использование объекта, заполните форму заявки, нажав на кнопку "Подача заявки".Представители организации, разместившие этот объект, свяжутся с вами для уточнения деталей.
Если не получили ответ, пожалуйста, обратитесь по указанным контактам.

Другие объекты