E-labs infrastructure

Магнетронная установка

  • Mark/Model

    МАГНА ТМ-29

  • Year of release

    2018

  • Quantity

    1

  • Country of origin

    Russia

  • Types of work

    Установка предназначена для магнетронного нанесения тонких металлических плёнок, в том числе плёнок драгоценных металлов на кремниевые пластины диаметром 100 и 150 мм с предварительным нагревом пластины и очисткой поверхности пластины в едином вакуумном цикле

  • Main technical characteristics

    Возможно нанесение тонких плёнок из: - алюминия (Al); - алюминия, легированного кремнием (Al-Si); - алюминий-никеля (Ni-Al); - хрома (Cr) ЭРХ 99,95 МП; - тантала (Ta); - титана (Ti) ВТ1-0; - нитрида титана (TiN); - молибдена (Mo) M99,95 MП; - вольфрама (W) В 99,95 МП; - стали НЖ20; - никеля (Ni); - сплава никель-железо (FeNi); - ниобия (Nb); - нитрида ниобия (NbN); - неодимового магнита (NdFeB); - магнитного сплава 79НМ; - платины (Pt)

  • Scope of application

    Материаловедение

  • Operating instructions

    имеется

  • Phone number

    +7 701 722 1090

  • Email

    a.goncharov@kbtu.kz

Submit an application
To request the use of the facility, fill out the application form by clicking on the "Submit application" button. Representatives of the organization that placed this object will contact you to clarify the details. If you have not received a response, please contact the specified contacts.

Other facilities